光刻机的图形转移________决定了集成电路的集成度大小。A:形状及尺寸 B:质量及尺寸 C:精度及尺寸 D:体积及形状答案: 精度及尺寸

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光刻机的图形转移________决定了集成电路的集成度大小。A:形状及尺寸 B:质量及尺寸 C:精度及尺寸 D:体积及形状 答案: 精度及尺寸